特許
J-GLOBAL ID：200903032833446791
マイクロメカニックなコ-ム構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050860
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311635
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】 マイクロメカニックなコーム構造を改良して、固有周波数の配分によって、スペクトルの妨害域の形成を防止する。【解決手段】 多数の歯101〜105を有する第1のコーム装置10と多数の歯201〜205を有する第2のコーム装置20とから成るマイクロメカニックなコーム構造であって、前記第1のコーム装置10の歯101〜105と前記第2のコーム装置20の歯201〜205が夫々、センサコンデンサ及び/又はアクチュエータコンデンサを形成するように互いに噛合って配置されている形式のものにおいて、両コーム装置10;20の内の少なくとも一方のコーム装置の歯101〜105;201〜205が、該歯の機械的な固有周波数のバリエーションを生ぜしめるように形成されている。
請求項（抜粋）：
多数の歯(101〜105)を有する第1のコーム装置(10)と多数の歯(201〜205)を有する第2のコーム装置(20)とから成るマイクロメカニックなコーム構造であって、前記第1のコーム装置(10)の歯(101〜105)と前記第2のコーム装置(20)の歯(201〜205)とが夫々、センサコンデンサ及び/又はアクチュエータコンデンサを形成するように互いに噛合って配置されている形式のものにおいて、両コーム装置(10;20)の内の少なくとも一方のコーム装置の歯(101〜105;201〜205)が、該歯(101〜105;201〜205)の機械的な固有周波数のバリエーションを生ぜしめるように形成されていることを特徴とする、マイクロメカニックなコーム構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, G01P 15/02 A
