特許

J-GLOBAL ID：200903074147479149

角速度センサ

発明者： 森屋 和文 ,  長谷川 友保 ,  高田 英一 ,  柴野 富雄 ,  大澤 哲夫
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-027294
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196687
出願日： 1996年01月22日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 互いに直交するX軸,Y軸の2軸周りの角速度を検出する。【解決手段】 基板22上に固定された各支持部24には、支持梁25を介して枠状の振動子26を設け、振動子26内には柱状電極33を基板22に固着して設ける。また、振動子26の左,右側にはX軸変位検出部31,31と前,後側にはY軸変位検出部32,32が形成されている。ここで、振動子26と柱状電極33との間に振動駆動信号が印加されると、この間に静電引力が発生し、振動子26はZ軸方向に振動する。このとき、Y軸周りの角速度ΩY が加わると、振動子26はコリオリ力によってX軸に変位し、この変位をX軸変位検出部31で検出し、X軸周りの角速度ΩX が加わると、振動子26はコリオリ力によってY軸に変位し、この変位をY軸変位検出部32で検出でき、X軸,Y軸の2軸周りの角速度ΩX ,ΩY をそれぞれ検出できる。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に設けられた支持部と、基端側が該支持部に設けられた支持梁と、前記基板の表面から離間した状態で該支持梁の先端側に設けられ、前記基板に対してX軸,Y軸,Z軸方向からなる3軸方向に変位可能な振動子と、該振動子をZ軸方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動子にZ軸方向の振動を与えている状態で、X軸周りまたはY軸周りの角速度によって振動子がY軸方向またはX軸方向に変位するときの変位量を検出する変位検出手段とから構成してなる角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平6-508684
  
• 慣性センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-049519   出願人：株式会社東芝
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-114291   出願人：株式会社村田製作所