特許
J-GLOBAL ID：200903032869768981
圧電ジャイロセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252093
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096632
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサにおいて、駆動側及び検出側相互の電気的特性に優れており、また、各部の形状が対称的でバランスの良い、安価で小型の圧電ジャイロセンサを提供する。【解決手段】一対の駆動片と一対の検出片を有し、駆動片と検出片を同一平面で結合する結合部とを有し、更に駆動片、検出片及び結合部を支持する支持部を有している圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサ。更に、補正マスクを用いて接続部及び先端部の対称性を良くした圧電ジャイロセンサ。
請求項（抜粋）：
圧電振動子を角速度センサとして使用する圧電ジャイロセンサにおいて、前記圧電ジャイロセンサは、一対の駆動片、一対の検出片及び支持部と、結合部とのそれぞれの接続部の形状を、相似形の形状としたことを特徴とする圧電ジャイロセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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角速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-014805
出願人：京セラ株式会社
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