特許
J-GLOBAL ID：200903032924373681
圧電アクチュエータ、これを備えた液体移送装置、および圧電アクチュエータの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
梶 良之
, 須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-246972
公開番号（公開出願番号）：特開2008-105405
出願日： 2007年09月25日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
【課題】低い駆動電圧であっても変形量を十分大きくする。【解決手段】圧電アクチュエータ50は、圧電材料層53における振動板51と個別電極55とによって挟まれている動作部2が流路ユニット40の圧力室21と対向するように、流路ユニット40に接合されている。圧電材料層53における動作部2の中央部分2aは上向きに分極されており、縁部分2bは下向きに分極されている。これにより、個別電極55に駆動電位を印加し、動作部2に下向きの電界を作用させると、圧電アクチュエータ50における動作部2の中央部分2aに対応する箇所は圧力室21とは反対側に凸となるように湾曲し、縁部分2bに対応する箇所は流路ユニット40に接合されている側とは反対側の端部が圧力室21とは反対側に変位するように湾曲する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
所定の動作部を有する圧電層を含む圧電アクチュエータの製造方法であって、
振動板を設ける工程と、
前記振動板の表面に、前記圧電層を設ける工程と、
前記圧電層の一方の面における、前記圧電層の、前記動作部となる所定の動作領域と重なる第1の領域の中央部分に第1の分極電極を形成する工程と、
前記圧電層の前記一方の面の第1の領域の、前記中央部分を除く縁部分に第2の分極電極を形成する工程と、
前記圧電層の他方の面の、前記動作領域の全域と重なる第2の領域に、第1の電極を形成する工程と、
前記圧電層の、前記第1の電極と前記第1の分極電極とに挟まれている第1の部分に所定の向きの電界を印加して、第1の部分を前記所定の向きに分極する工程と、
前記圧電層の、前記第1の電極と前記第2の分極電極とに挟まれている第2の部分に、前記所定の向きとは反対の向きの電界を印加して、第2の部分を前記反対の向きに分極する工程と、
前記圧電層の前記他方の面の、前記動作領域と重なる第2の領域の一部に第2の電極を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (7件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/22
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
2C057AF55
, 2C057AF93
, 2C057AG38
, 2C057AG40
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AP14
, 2C057AP21
, 2C057AP90
, 2C057BA04
, 2C057BA14
