特許
J-GLOBAL ID：200903083845885980
圧電アクチュエータおよびインクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
後呂 和男
, 村上 二郎
, 水澤 圭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-275937
公開番号（公開出願番号）：特開2006-093348
出願日： 2004年09月22日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】アニール処理による圧電特性の低下を回避できる圧電アクチュエータの製造方法を提供することにある。【解決手段】 圧電層形成工程において、Tiが拡散する分だけ最適組成からずれた組成を有する材料粒子Mを使用して圧電層3を形成する。このとき、圧電層3を、振動板2上に形成された第1の圧電層3Aと、この第1の圧電層3A上に積層された第2の圧電層3Bとの二層構造とする。そして、第1の圧電層3Aのみを最適組成からずれた組成を有するものとし、その上に積層される第2の圧電層3Bについては、最適組成を有するものとする。この圧電層3に対してアニール処理を施すと、第1の圧電層3Aにおいては拡散元素が拡散することによって、組成が修正されて最適組成となる。一方、振動板2から遠い第2の圧電層3Bまでは拡散が進行しないため、この第2の圧電層3Bについては最適組成が維持される。これにより、良好な圧電特性が得られる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
圧電材料の粒子を含むエアロゾルを基板の表面側に噴き付けて前記粒子を付着させることにより圧電層を形成する圧電層形成工程と、
前記圧電層をアニール処理するアニール処理工程と、を含み、かつ、
前記基板が、前記圧電材料を構成する元素と同一の元素であって前記アニール処理工程において前記基板から前記圧電層へ拡散する拡散元素を含むものであるとともに、
前記粒子として、前記拡散元素と同一の元素の組成比を前記拡散元素の拡散量に基づいて前記圧電層の圧電特性を最大とする最適組成から低めたものを使用する圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (6件)：
H01L 41/22
, H02N 2/00
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
H01L41/22 Z
, H02N2/00 B
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 B
2C057AF93
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP27
, 2C057AP57
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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