特許
J-GLOBAL ID:200903032958488950
ポンプ保護装置、ポンプ保護方法及びポンプ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
楠本 高義 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-279511
公開番号(公開出願番号):特開2000-110735
出願日: 1998年10月01日
公開日(公表日): 2000年04月18日
要約:
【要約】【目的】 真空状態を維持しながらポンプを過負荷から保護できる装置及び方法を提供することにある。【構成】 ポンプ保護装置10を、真空ポンプ14を駆動させるモーター16の消費電力をモーター16が受ける負荷として検知する電力検知器18と、電力検知器18によって検知した消費電力の値が所定電力値以上に達した場合にモーター16の回転数を降下させる制御手段20とから構成した。
請求項(抜粋):
ポンプの駆動手段が受ける負荷を検知する負荷検知手段と、前記負荷検知手段によって検知した負荷の値に対応して前記駆動手段による駆動量を変動させる制御手段とを備えたことを特徴とするポンプ保護装置。
IPC (2件):
F04B 49/10 311
, F04D 19/04
FI (2件):
F04B 49/10 311
, F04D 19/04 H
Fターム (22件):
3H031AA11
, 3H031EA12
, 3H031EA13
, 3H031EA16
, 3H031FA41
, 3H045AA06
, 3H045AA09
, 3H045AA12
, 3H045AA25
, 3H045AA38
, 3H045BA28
, 3H045BA32
, 3H045BA42
, 3H045CA09
, 3H045CA21
, 3H045CA25
, 3H045CA29
, 3H045DA07
, 3H045DA48
, 3H045EA20
, 3H045EA34
, 3H045EA50
引用特許:
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