特許

J-GLOBAL ID：200903032958784141

投影光学系、投影光学系の調整方法、投影光学系の製造方法、露光装置及び露光方法

発明者： 重松 幸二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-335985
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172328
出願日： 2002年11月20日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】複屈折起因でない収差状態を変化させること無く、複屈折起因の結像性能を調整可能にした投影光学系を提供する。【解決手段】波長が200nm以下の光を実質的に透過させる複数の屈折部材を含み、レチクルRの像をウェハW上に投影する投影光学系PLにおいて、結晶光学材料により形成され、レチクルとウェハとの間の光路中における最もウェハ側に配置されて、パワーを有しない第1の屈折部材Aと、結晶光学材料により形成され、第1の屈折部材のレチクル側の光路中で第1の屈折部材と隣接して配置されて、第1の屈折部材側にパワーを有しない面を持つ第2の屈折部材Bとを備え、第1の屈折部材の結晶軸と第2の屈折部材の結晶軸とが所定の関係で位置決めされる。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

波長が200nm以下の光を実質的に透過させる複数の屈折部材を含み、第1面の像を第2面上に投影する投影光学系において、 結晶光学材料により形成され、前記第1面と前記第2面との間の光路中における最も前記第2面側に配置されて、パワーを有しない第1の屈折部材と、 結晶光学材料により形成され、前記第1の屈折部材の前記第1面側の光路中で前記第1の屈折部材と隣接して配置されて、前記第1の屈折部材側にパワーを有しない面を持つ第2の屈折部材と、 を備え、 前記第1の屈折部材の結晶軸と前記第2の屈折部材の結晶軸とが所定の関係で位置決めされることを特徴とする投影光学系。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 516A

Fターム (7件)：

5F046BA04 ,  5F046CA07 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA13 ,  5F046DB01 ,  5F046DB05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 投影光学系及びそれを用いた投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-068536   出願人：キヤノン株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Intrinsic Birefringence in Calcium Fluoride