カラーフィルターの製造方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-076248
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266928
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】パターン形状における高度の自由度および広い操作の許容範囲を有し、更に、大表面積のカラーフィルターを製造し、製品を極めて高い収率で得ることの可能なカラーフィルターの製法を提供する。【解決手段】透明導電性基板の上にポジ型フォトレジスト層を塗布すること、基板をフォトマスクの下で露光させて露光エネルギーの異なる初期準位の区域を形成させること、基板の全表面をそれぞれ相当する区域の上のフォトレジストを完全に露光するのに十分なエネルギーを基板のすべての区域に順次達成するようにエネルギーを増加する仕方で露光させること、各区域を同じ現像液を使用して段階的に現像して露出した相当する区域の導電性基板を生じさせること、の区域を低酸価アニオン電着樹脂を含む着色電着塗料を電着させて所望の色の画素配置を仕上げることおよび前記基板を完全に露光させ残存フォトレジスト層を除去することを含む。

請求項（抜粋）：

(a)透明導電性基板の上にポジ型フォトレジスト層を塗布し、そのポジ型フォトレジスト層を露光させて露光エネルギーの異なる初期準位の三または四の区域を形成させる工程[その際各区域の露光エネルギーは順次D1、D2 、D3 (およびD4 )であり、D1 はポジ型フォトレジストの全露光エネルギーを表し、D1 >D2 >D3 (>D4 )である、](b)現像液を使用してD1 の露光エネルギーを有するフォトレジト層の区域を現像および除去し、それによりフォトレジストの下にある導電性基板の相当する区域を露出させ、当該区域を所望の色の画素配置に仕上げるように70mgKOH/g以下の酸価(Acid Value)を有するアニオン電着樹脂を含む着色電着塗料を電着させる工程、(c)基板の全表面をエネルギーIEn で露光させて基板の全区域に増分量のエネルギーを与える工程[その際IEn はDn とDn+1 の間のエネルギー差であり、nの定義は次のとおりである、(i)露光エネルギーの異なる初期準位の三区域が基板上に形成される場合、nは順次1および2であり、(ii)露光エネルギーの異なる初期準位の四区域が基板上に形成される場合、nは順次1、2および3である](d)工程(c)(i)または(ii)における各露光時の後、工程(b)で使用したのと同一の現像液を使用して全露光を達成する区域のフォトレジストを現像および除去し、それによりフォトレジストの下にある導電性基板の相当する区域を露出させ、その後当該区域を他の所望の色の画素配置に仕上げるように低酸価アニオン電着樹脂を含む着色電着塗料を電着させる工程、(e)画素配置のすべてが達成されるまで工程(c)および(d)を繰返し行う工程、および(f)基板の上に保護被膜を形成する工程、を含むカラーフィルターの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/40 521

FI (2件)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/40 521

Fターム (9件)：

2H048BB02 , 2H048BB14 , 2H048BB42 , 2H096AA28 , 2H096BA09 , 2H096CA12 , 2H096EA12 , 2H096GA09 , 2H096HA30

引用特許：

審査官引用 (6件)

カラーフィルターの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-238322 出願人：日本石油株式会社
特開平2-049077
カラーフィルターとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159082 出願人：日本写真印刷株式会社

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