特許
J-GLOBAL ID：200903033035084550
圧電薄膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-117096
公開番号（公開出願番号）：特開2006-291332
出願日： 2005年04月14日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】 アルカリ金属成分を蒸発させることなく、高い緻密度で、優れた圧電特性を有するニオブ酸カリウムナトリウム系圧電薄膜を製造する方法を提供することにある。【解決手段】 アルカリ金属が蒸発しない基板温度、例えば800°C以下の基板温度とした基板3上に、エアロゾルデポジション法により組成式(KxNayLiz)NbO3(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)で表されるニオブ系酸化物の微粒子を吹き付けることにより、圧電定数d31の絶対値が100pm/V以上であり、緻密度が80%以上である圧電薄膜4を形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
アルカリ金属が蒸発しない基板温度とした基板上に、エアロゾルデポジション法により組成式(KxNayLiz)NbO3(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)で表されるニオブ系酸化物の微粒子を吹き付けることにより、緻密な圧電薄膜を形成することを特徴とする圧電薄膜の製造方法。
IPC (5件)：
C23C 24/04
, B05D 1/02
, B05D 7/24
, H01L 41/24
, H01L 41/187
C23C24/04
, B05D1/02 Z
, B05D7/24 302A
, H01L41/22 A
, H01L41/18 101J
4D075AA02
, 4D075BB23X
, 4D075BB93X
, 4D075CA21
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DB14
, 4D075DC15
, 4D075DC21
, 4D075EB01
, 4D075EB56
, 4K044AA11
, 4K044AB02
, 4K044BA12
, 4K044BC14
, 4K044CA21
