特許
J-GLOBAL ID：200903033088689535

反射屈折光学系におけるレーザ暗視野照明のビーム送出システム

発明者：
チャン ユン-ホ

チャン ユン-ホ について

, 
アームストロング ジェイ ジョーゼフ

アームストロング ジェイ ジョーゼフ について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション

ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション について


代理人 (2件)： 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-519430
公開番号（公開出願番号）：特表2008-545165
出願日： 2006年06月22日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
試料を検査する方法および装置を提供する。本装置は、第1照明源と、第1照明源から受け取った光エネルギを実質的に垂直な角度で前記試料に向かうように誘導する、中央掩蔽を提示する反射屈折対物レンズと、前記反射屈折対物レンズによって生じる前記中央掩蔽内に配置され、第2照明源からの追加照明を受け取って、前記試料に向けて追加照明の進路を変える、プリズムや反射面等の光学装置と、を含む。本方法は、第1照明源を用いて、前記試料の表面を各種の角度で照光することと、第2照明源を用いて前記表面を照光することとを含み、前記第2照明源による照光は、実質的に垂直な入射角度で行われ、また、反射、散乱、および回折されたすべてのリグを結像させることを更に含む。
請求項（抜粋）：
試料を検査する装置であって、 第1照明源と、 中央掩蔽部を提示する反射屈折対物レンズであって、前記第1照明源から受け取った光エネルギを受け入れて、約ゼロ度よりも実質的に大きい角度である、法線より実質的に大きい角度で前記試料に向けて光エネルギを送出す反射屈折対物レンズと、を含み、 さらに、前記反射屈折対物レンズによって生じる前記中央掩蔽部内に配置された光学装置であって、第2照明源からの追加照明を受け取り、前記試料に対して垂直に近い入射角になるように前記追加照明の進路を変える光学装置を含む装置。
IPC (8件)：
G02B 21/06 ,  G02B 17/08 ,  G02B 21/02 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/10 ,  G02B 21/12 ,  G02B 21/16 ,  G01N 21/956
FI (8件)：
G02B21/06 ,  G02B17/08 ,  G02B21/02 A ,  G02B21/18 ,  G02B21/10 ,  G02B21/12 ,  G02B21/16 ,  G01N21/956 A
Fターム (37件)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB03 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2H052AB05 ,  2H052AB06 ,  2H052AB14 ,  2H052AB17 ,  2H052AC06 ,  2H052AC07 ,  2H052AC12 ,  2H052AC34 ,  2H052AD09 ,  2H052AD34 ,  2H052AD35 ,  2H052AF02 ,  2H087KA09 ,  2H087LA01 ,  2H087LA27 ,  2H087NA04 ,  2H087RA32 ,  2H087TA01 ,  2H087TA03 ,  2H087UA03
引用特許：
出願人引用 (9件)
  • 米国特許第5,717,518号明細書
  • 米国特許第6,064,517号明細書
  • 米国特許第6,288,780号明細書
全件表示
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM