特許
J-GLOBAL ID:200903083530563063

広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外顕微鏡映像システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-506547
公開番号(公開出願番号):特表2001-517806
出願日: 1998年08月07日
公開日(公表日): 2001年10月09日
要約:
【要約】【解決手段】 広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外(UV)カタディオプトリック映像顕微鏡システムが開示される。カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微鏡システムは、極UV波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレンズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。
請求項(抜粋):
紫外域内の少なくとも一つの波長を含む複数の波長に亘って高次色収差を変えることなくズーム若しくは倍率変更を行うことができるチューブレンズ部と、 非ズーミング高開口数カタディオプトリック対物レンズ部とを有する、高開口数の広スペクトル域カタディオプトリック光学システム。
IPC (3件):
G02B 15/14 ,  G02B 17/08 ,  G02B 21/16
FI (3件):
G02B 15/14 ,  G02B 17/08 ,  G02B 21/16
Fターム (40件):
2H052AB01 ,  2H052AB05 ,  2H052AB06 ,  2H052AB29 ,  2H052AC04 ,  2H052AC12 ,  2H052AC27 ,  2H087KA09 ,  2H087LA27 ,  2H087NA04 ,  2H087NA14 ,  2H087PA06 ,  2H087PB06 ,  2H087QA02 ,  2H087QA06 ,  2H087QA07 ,  2H087QA14 ,  2H087QA17 ,  2H087QA21 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA26 ,  2H087QA34 ,  2H087QA39 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087QA46 ,  2H087RA46 ,  2H087SA00 ,  2H087SA06 ,  2H087SA10 ,  2H087SA62 ,  2H087SA63 ,  2H087SB04 ,  2H087SB14 ,  2H087TA01 ,  2H087TA04 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04
引用特許:
審査官引用 (17件)
  • 特開平2-304411
  • 固体カタディオプトリックレンズ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-144165   出願人:ヒューズ・ミサイル・システムズ・カンパニー
  • 特開平4-274406
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