特許

J-GLOBAL ID：200903033089914770

現像液の処理装置および方法

発明者： 外村 正一郎 ,  宮田 靖 ,  吉田 友子
出願人/特許権者： 旭化成エレクトロニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-150059
公開番号（公開出願番号）：特開2005-004197
出願日： 2004年05月20日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】 本発明は、プリント配線板、リードフレーム、半導体パッケージ、プラズマディスプレイ背面板等の製造に使用される感光性樹脂組成物の現像機で発生する現像凝集物問題の解決を目的とする。【解決手段】 本発明は、混合手段と分離手段とを組み合わせる事を特徴とする現像液の処理装置、それを有する現像装置であり、感光性樹脂組成物を露光した後の現像機で発生する、現像液凝集物を除去する方法を提供する。【選択図】 選択図なし

請求項（抜粋）：

被現像物から現像後の現像液中に流出した未溶解成分を凝集させる混合手段、及び凝集させた未溶解成分を該現像液から分離させる分離手段を具備する事を特徴とする現像液の処理装置。

IPC (7件)：

G03F7/30 ,  B01D17/00 ,  B01D17/022 ,  B01D17/038 ,  B01D17/04 ,  C02F1/28 ,  G03F7/004

FI (7件)：

G03F7/30 501 ,  B01D17/00 503B ,  B01D17/022 501 ,  B01D17/038 ,  B01D17/04 ,  C02F1/28 H ,  G03F7/004 512

Fターム (14件)：

2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025FA28 ,  2H096AA26 ,  2H096LA25 ,  2H096LA30 ,  4D024AA08 ,  4D024AB06 ,  4D024BB03 ,  4D024BC01 ,  4D024DB01 ,  4D024DB03 ,  4D024DB07 ,  4D024DB12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 新規な感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-191136   出願人：旭化成工業株式会社
• サンドブラスト用感光性樹脂積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-011347   出願人：旭化成株式会社