特許

J-GLOBAL ID：200903098786270389

サンドブラスト用感光性樹脂積層体

発明者： 富田 宏朗 ,  小谷 雄三
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
代理人 (1件)： 野崎 銕也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-011347
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214779
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 感度、解像度、密着性に優れ、サンドブラスト用マスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工でき、且つ現像工程においてスカムの発生が少ない感光性樹脂積層体及びそれを用いた表面加工方法を提供する。【解決手段】 支持体に、ポリウレタンプレポリマーとアルカリ可溶性高分子と特定の化学式で示されるエチレン性不飽和付加重合性モノマーと光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物より成る感光性樹脂層、及び必要に応じて保護層を順次積層し、それを用いて表面加工を行う。

請求項（抜粋）：

支持体(A)に(i)末端に水酸基を有するポリマーまたはモノマーとポリイソシアネートと活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマーと、(ii)アルカリ可溶性高分子と、(iii)光重合開始剤と、(iv)エチレン性不飽和付加重合性モノマーとして下記化学式(I)で示される化合物を含有する感光性樹脂組成物より成る感光性樹脂層(B)が積層されていることを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂積層体。【化1】(R1は水素原子またはメチル基、R2はエチレン基、R3はプロピレン基、R4は炭素数4〜6のアルキレン基、R5は炭素数1〜15のアルキル基またはハロゲン基を表す。L、M、Nは0以上の整数であり、その合計が2〜15である。Tは0〜3の整数を表す。)

IPC (12件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 513 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/48 ,  C08F289/00 ,  C08F290/06 ,  C08F299/02 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/038 501 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (12件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 513 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/48 ,  C08F289/00 ,  C08F290/06 ,  C08F299/02 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/038 501 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

Fターム (76件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC32 ,  2H025BC65 ,  2H025BC66 ,  2H025BC83 ,  2H025BJ10 ,  2H025CA00 ,  2H025CB42 ,  2H025DA19 ,  2H025FA17 ,  2H025FA42 ,  4J011AC04 ,  4J011CA02 ,  4J011CC10 ,  4J011PA69 ,  4J011PB30 ,  4J011QB15 ,  4J011QB16 ,  4J011QB24 ,  4J011RA03 ,  4J011SA06 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA34 ,  4J011SA54 ,  4J011SA64 ,  4J011SA65 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA21 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA46 ,  4J026AA48 ,  4J026AA49 ,  4J026AA50 ,  4J026AA76 ,  4J026AC29 ,  4J026AC36 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA50 ,  4J026DB06 ,  4J026DB11 ,  4J026DB36 ,  4J026GA06 ,  4J027AC01 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AG03 ,  4J027AG04 ,  4J027AG05 ,  4J027AG12 ,  4J027AG14 ,  4J027AG23 ,  4J027AG24 ,  4J027BA07 ,  4J027BA11 ,  4J027CA03 ,  4J027CB10 ,  4J027CD10 ,  5C027AA09 ,  5C040GF19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• サンドブラスト用感光性樹脂組成物及びその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-047801   出願人：旭化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-170110   出願人：日立化成工業株式会社
• サンドブラスト用感光性樹脂組成物及びその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-364843   出願人：旭化成工業株式会社