特許

J-GLOBAL ID：200903033094536325

マイクロマシニング磁界センサおよびその製造方法

発明者： マーティン シェフターラー ,  ラルフ シェリン ,  ハーラルト エメリッヒ ,  イェルク カイエンブルク
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170173
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028694
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 従来形の磁界センサの欠点である僅かな分解能、僅かな感度、温度依存性の高いオフセット、あるいは非常に高コストでしか製造できないことなど解消した磁界センサを提供すること。【解決手段】 基板上に弾性的に変位可能に懸架されている導体路装置と、前記導体路装置に接続し該装置と共に変位可能な第1のコンデンサプレート装置と、基板に固定的に結合された第2のコンデンサプレート装置とを有し、該第2のコンデンサプレート装置は、前記第1のコンデンサプレート装置と共にコンデンサ装置を形成しており、さらに、前記導体路装置を通る所定の電流を伝導し印加される磁界に依存して生じるコンデンサ装置のキャパシタンス変化を検出するための、磁界検出装置を有しているように構成する。

請求項（抜粋）：

マイクロマシニング磁界センサにおいて、基板(100)上に弾性的に変位可能に懸架されている導体路装置(50)と、前記導体路装置(50)に接続し該装置と共に変位可能な第1のコンデンサプレート装置(56,57)と、基板(100)に固定的に結合された第2のコンデンサプレート装置(61,66,71,76)とを有し、該第2のコンデンサプレート装置は、前記第1のコンデンサプレート装置(56,57)と共にコンデンサ装置を形成しており、さらに、前記導体路装置(50)を通る所定の電流(i)を伝導し印加される磁界に依存して生じるコンデンサ装置のキャパシタンス変化を検出するための、磁界検出装置を有していることを特徴とする、マイクロマシニング磁界センサ。

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 磁場計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-319762   出願人：株式会社日立製作所
• 慣性センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-049519   出願人：株式会社東芝

審査官引用 (2件)

• 磁場計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-319762   出願人：株式会社日立製作所
• 慣性センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-049519   出願人：株式会社東芝