特許

J-GLOBAL ID：200903033117413145

脱気装置及び脱気方法

発明者： 立山 清久
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-336477
公開番号（公開出願番号）：特開2000-140505
出願日： 1998年11月12日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】簡易な構造で安価に製作でき、従来と比較して小さな設置スペースで済む脱気装置を提供する。【解決手段】脱気する処理液体を収容する液体収容容器91に振動付与手段92を付設した。取り出し管93を、この振動付与手段92によって振動を付与することにより溶存ガスを顕在化させ、ガス含有量の少ない箇所から処理液体を取り出すことができるように設置した。したがって、処理液体を収容する液体収容容器91そのものを振動させることで、液体分子の運動を活性化させ溶存ガスを泡として顕在化させることができ、脱気された処理液体を取り出すことができる。このため、メンブレン膜やチューブを用いる必要なく、従来と比較して簡易な構造でありながら、処理液体を脱気することができる。

請求項（抜粋）：

処理液体を収容する液体収容容器と、前記液体収容容器に収容された処理液体に振動を付与する振動付与手段と、前記処理液体を収容する液体収容容器の下部から処理液体を取り出す取り出し管とを具備することを特徴とする脱気装置。

IPC (2件)：

B01D 19/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B01D 19/00 C ,  B01D 19/00 Z ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (4件)：

4D011AA18 ,  5F046JA01 ,  5F046JA09 ,  5F046JA22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 偏向補正処理回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-143956   出願人：日本電気株式会社
• 特開昭59-092003