物理量検出装置及び角速度検出装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：長谷照一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-358246
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180180
出願日： 1998年12月16日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】加工上のばらつきによる角速度検出精度の悪化を回避する。【解決手段】基板10上に浮かせた設けた振動子11は、検出用梁部12-1〜12-4、連結部13-1,13-2、駆動用梁部14a-1〜14a-4、連結部15-1〜15-4及び駆動用梁部14b-1〜14c-4を介して、アンカ16a-1〜16b-4によりX,Y両軸方向に振動可能に支持されている。駆動用電極17によりX軸方向に振動させた状態で、X,Y両軸に直交するZ軸回りの角速度が作用すると、振動子11は前記角速度に比例してY軸方向に振動する。駆動用梁部14a-1〜14c-4に調整用電極25-1〜25-4を設け、印加直流電圧の変更により同電極25-1〜25-4による静電引力を変更して、駆動用梁部14a-1〜14c-4のばね定数を電気的に調整し、振動子11のY軸方向の漏れ振動をなくす。

請求項（抜粋）：

基板上面上に浮かせて配置した質量体と、基板上面上に浮かせて延設されてなり各一端を前記質量体にそれぞれ接続するとともに各他端を基板上面にそれぞれ固着した複数の梁とを備え、前記基板に対する前記質量体の変位に基づいて物理量を検出するための物理量検出装置において、前記複数の梁のうちの少なくとも一つの梁に対し、同少なくとも一つ梁の中間部に接続された梁側電極指と前記基板上面に接続された基板側電極指とを互いに対向させてなり同少なくとも一つの梁のばね定数を変更するための調整用電極を設けたことを特徴とする物理量検出装置。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 3/14 , G01P 9/04

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 3/14 , G01P 9/04

Fターム (4件)：

2F105BB04 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CD03

引用特許：

審査官引用 (1件)

共振型角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-334337 出願人：株式会社豊田中央研究所

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