特許
J-GLOBAL ID：200903020276918580

共振型角速度センサ

発明者：
藤吉 基弘

藤吉 基弘 について

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大村 義輝

大村 義輝 について

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野々村 裕

野々村 裕 について

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藤塚 徳夫

藤塚 徳夫 について


出願人/特許権者：
株式会社豊田中央研究所

株式会社豊田中央研究所 について


代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-334337
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170276
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 自動車用等の角速度センサにおいて、簡単な構成で正確に角速度を検出し、また、慣性質量であるマス部の共振周波数の調整を容易かつ効率的に実行することの可能な構成を得ること。【解決手段】 マス部1のコリオリ力による変位方向への振動を支持するマス変位支持ビーム20〜23と、マス部1の励振方向への振動を許容するようにマス変位支持基部24、25を支持するマス励振支持ビーム(ビーム体10〜17、連結部80、81)とを備える。マス変位支持基部24が対向する櫛形励振電極51により励振方向に励振されるとビーム22、23を介してマス部1が励振する。マス部1のコリオリ力検出方向の側面には延出電極31があり、これと対向して容量検出電極30、32が配置されている。励振方向に振動するマス部1にコリオリ力が作用するとマス部1は検出方向へも振動し、これが容量検出電極30、32で容量変化が検出される。なお、ビーム体10〜17に応力を与える機構を設け励振周波数を調整することも可能である。
請求項（抜粋）：
慣性質量となるマス部を励振させ、このマス部の励振方向と角速度センサの回転軸方向の両方向に直交する方向に発生するコリオリ力によるマス部の変位に基づいて角速度を検出する共振型角速度センサであって、前記励振方向に前記マス部を挟んで配置された一対のマス変位支持基部と、前記各マス変位支持基部からそれぞれ前記マス部に伸び、コリオリ力発生時に前記マス部のコリオリ力発生方向への変位を許容するよう支持するマス変位方向支持ビームと、前記各マス変位支持基部の前記コリオリ力発生方向への変位を禁止すると共に、前記マス変位方向支持ビームを介して前記マス部の前記励振方向への振動を許容するように前記マス変位支持基部を支持するマス励振支持ビームと、前記マス変位支持基部を励振させるための励振手段と、前記マス部の変位を検出する変位検出手段と、を具備することを特徴とする共振型角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許：
審査官引用 (14件)
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-304820   出願人：日産自動車株式会社
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-143148   出願人：株式会社村田製作所
  • 力学量センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-274529   出願人：日本電装株式会社
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