特許

J-GLOBAL ID：200903033159324150

ペリクル

発明者： 樫田 周 ,  白崎 享 ,  浜田 裕一 ,  永田 愛彦 ,  川口 栄 ,  久保田 芳宏
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-185929
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043892
出願日： 1993年07月28日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は輸送や移動による発塵が完全に防止され、ペリクル枠表面が摩擦にも十分耐え得るものであるペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のペリクルは、ペリクル枠の側面または全面に電着塗装により塗料をコーティングしてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

ペリクル枠の側面または全面に電着塗装法により塗料をコーティングしてなることを特徴とするペリクル。

IPC (4件)：

G03F 1/14 ,  C25D 13/00 ,  C25D 13/12 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-109952   出願人：信越化学工業株式会社
• 特開平1-120555
  
• 特開昭64-048062