クリーンルーム装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276117
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114342
出願日： 1994年10月14日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】【目的】各種装置近傍、作業を行う場所における特に床の真上の気流をきめ細かに制御できるようにし、延いては半導体装置等のダストによる汚染の低減を図る。【構成】グレーティングを有する床4の下側において装置5の周囲にあたる部分に気流調整ファン9を配設する。ファン9にフィルタ10を設けるようにしても良い。

請求項（抜粋）：