特許

J-GLOBAL ID：200903033204734888

慣性レートセンサー

発明者： ジョナサン ジェイ.バーンスタイン ,  マーク エス.ワインバーグ
出願人/特許権者： ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026017
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218268
出願日： 1994年01月28日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 マイクロメカニカル技術手段により製造される慣性レートセンサー、詳しくは、振動チューニングフォーク・レートセンサーに関するものである。【構成】 シリコン基板14の面12に回転構造体16が支持されていて、この回転構造体は、第1の振動要素18と第2の振動要素20とを備え、これら振動要素は、支持電極22,24に架設され、支持されている。支持電極22,24の両者の最も離れた端面(外側面)から、たわみ体26,28がそれぞれの支持ピラー29,30に延長され、これらピラーは、面電極32,34を介して基板14の面に固定されている。回転軸は、前記のたわみ体26,28の中心を通る軸によって構成される。振動要素18,20の外側面には、被駆動電極フインガー36,38がそれぞれ配置されている。これらのフインガーは、駆動電極40,42と互いに櫛歯状になって互い違いに入り組み合っている。

請求項（抜粋）：

下記の構成からなる慣性レートセンサー:第1の軸まわりを回転するように架設支持され、前記第1の軸と実質的に直交する方向へ振動するように適している重りをつけられた第1の要素;前記支持された要素から振動方向へ突出している複数の被駆動電極の組;組になっている前記複数の被駆動電極と接触せずに噛み合う複数の駆動電極の組;前記架設されている要素を介して、前記被駆動電極の組と反対の極性信号をもつ前記駆動電極の組とに接触して、前記架設された要素の振動を誘導する振動駆動源;前記架設された要素に対面する位置に配置された多数の位置センサーであり、該位置センサーと前記架設された要素との間のスペースが前記軸回りを回転する前記要素の回転で変化する多数の位置センサー;前記架設された要素に対し、前記検知電極を励磁する電気信号源;および前記軸まわりの前記要素の回転に伴い変化するを受けるために、前記多数の検知電極の少なくとも一部の検知電極に応答する信号センサー。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 慣性センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-049519   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-242114
  
• 特表平5-502945