特許
J-GLOBAL ID：200903033250035250
圧力温度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊藤 洋二
, 三浦 高広
, 水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-294165
公開番号（公開出願番号）：特開2009-121871
出願日： 2007年11月13日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：
【課題】耐環境性に優れ、測定媒体の検出を高精度に行うことのできる圧力温度センサを提供することを目的とする。【解決手段】凹部2、メタルダイヤフラム14およびウェルド15で構成される圧力温度検出室17内に圧力および温度を検出するセンサチップ4を備え、圧力温度検出室17内をオイル18で充填する。そして、金属端子を8センサチップ4とメタルダイヤフラム14もしくはウェルド15とに接続し、金属端子8を介してセンサチップ4とメタルダイヤフラム14もしくはウェルド15とが熱的に接続される構成とする。このような圧力温度センサによれば、金属端子8を介してセンサチップ4はメタルダイヤフラム14もしくはウェルド15と熱的に接続されているのでセンサチップと測定媒体との熱時定数を減少させることができ温度の検出を高精度に行うことができると共に、耐環境性にすぐれた構成とすることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定媒体の圧力および温度に応じたセンサ出力信号を出力するセンサチップ(4)と、
一面に凹部(2)を備え、前記凹部(2)に前記センサチップ(4)が備えられるケースプラグ(1)と、
中空部(12)を有すると共に、前記中空部(12)に前記ケースプラグ(1)が挿入されることで前記ケースプラグ(1)と一体に組みつけられるハウジング(11)と、
前記測定媒体の圧力が印加されると共に、前記測定媒体の温度が伝導され、前記ケースプラグ(1)における前記凹部(2)が備えられる前記一面と前記ハウジング(11)のうち前記一面と対向する一面との間に配置されるメタルダイヤフラム(14)と、
前記メタルダイヤフラム(14)の外縁部分に配置され、前記メタルダイヤフラム(14)を前記ハウジング(11)に対して固定する枠状のウェルド(15)と、
前記ケースプラグ(1)と前記ハウジング(11)とが組み付けられることで形成される前記凹部(2)、前記メタルダイヤフラム(14)および前記ウェルド(15)で囲まれる部分を圧力温度検出室(17)とし、前記圧力温度検出室(17)内を充填するオイル(18)と、
前記センサチップ(4)と電気的に接続され、外部への電気的な接続を行うターミナル(7)と、
前記センサチップ(4)と前記ターミナル(7)とを電気的に接続するワイヤ(9)と、
前記ケースプラグ(1)に備えられ、前記センサチップ(4)に接続されていると共に、前記メタルダイヤフラム(14)もしくは前記ウェルド(15)に接続されており、前記センサチップ(4)と前記メタルダイヤフラム(14)もしくは前記ウェルド(15)とを熱的に接続する金属端子(8)と、を備えていることを特徴とする圧力温度センサ。
IPC (5件)：
G01K 1/16
, G01D 21/02
, G01L 19/00
, G01K 7/16
, G01K 13/02
G01K1/16
, G01D21/02
, G01L19/00 Z
, G01K7/16 Z
, G01K13/02
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD04
, 2F055EE11
, 2F055FF01
, 2F055GG12
, 2F055HH08
, 2F056DA03
, 2F056WF01
, 2F076BA01
, 2F076BD01
, 2F076BD07
, 2F076BD11
, 2F076BE01
