特許
J-GLOBAL ID：200903033251450952
板状部材の研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002049
公開番号（公開出願番号）：特開平8-187657
出願日： 1995年01月10日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【構成】 板状部材12を吸引固定する試料載置部17を備えた研磨装置本体11と、試料載置部17に固定された板状部材12の研磨を行う研磨パッド16と、試料載置部17の周面に配設されるリテーナ13とを備えた板状部材の研磨装置において、リテーナ13がセラミックス製である板状部材の研磨装置。【構成】 長時間の使用によるリテーナ13の消耗を防止することができ、リテーナ13の表面が研磨パッド16の表面を絶えず削り取り、シーズニング(目たて)する。このため研磨パッド16の目詰まりによる研磨速度の低下を防止することができ、定常的な状態で研磨を行うことができる。
請求項（抜粋）：
板状部材を吸引固定する試料載置部を備えた研磨装置本体と、該試料載置部に固定された板状部材の研磨を行う研磨パッドと、前記試料載置部の周面に配設されるリテーナとを備えた板状部材の研磨装置において、前記リテーナがセラミックス製であることを特徴とする板状部材の研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
