特許
J-GLOBAL ID：200903033307753732
電気特性評価装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056832
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252331
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】一台の装置で電流-電圧特性、容量-電圧特性、ホール効果特性さらにこれらの温度依存特性の測定・評価を精度良く行う。【解決手段】半導体回路を有する素子からなる試料4の加熱冷却機構2、試料4のいかなる位置にも電圧・電流の供給・測定を行うことを可能にするためのプローブ5,プローブ移動機構6や、真空排気機構、磁石21を持ち合わせることで、電圧-電流特性、電圧-容量特性、ホール効果特性、試料の温度を変化させた時の温度依存特性等を総合的に測定できる構造を有する。
請求項（抜粋）：
試料を載置して加熱及び冷却する加熱冷却機構と、前記試料に接触させて該試料に電圧又は電流を供給し、該試料の電気特性の測定を行うプローブと、前記試料、前記加熱冷却機構及び前記プローブを収容する真空容器と、前記真空容器内を真空に保持する真空排気機構とを具備してなることを特徴とする電気特性評価装置。
Fターム (14件)：
4M106AA02
, 4M106BA14
, 4M106CA04
, 4M106CA12
, 4M106CA59
, 4M106DD04
, 4M106DD30
, 4M106DH02
, 4M106DH16
, 4M106DH19
, 4M106DH44
, 4M106DH45
, 4M106DH50
, 4M106DH51
