特許

J-GLOBAL ID：200903033311072693

マイクロレンズの製造方法

発明者： クリスティン エー ボレ
出願人/特許権者： ルーセント テクノロジーズ インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 三俣 弘文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-185554
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139920
出願日： 2002年06月26日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】 基板にメサをエッチングせずにマイクロレンズを形成する方法を提供する。【解決手段】 非常に薄いコンフォーマルなコーティング層105でもってコーティングした(覆った)基板101と流動物体103とを例えば加熱して流動状態にする。その結果コーティング層105により流動物体の流動が制限され、流動状態の底部形状は変わらずにレンズが形成される。

請求項（抜粋）：

(A) 基板上(101)に流動物体(103)の個々の部分を堆積するステップと、(B) コーティング材料(105)で、前記流動物体(103)の個々の部分と前記基板上の前記個々の部分の周囲をコーティングするステップと、(C) 前記コーティングされた基板と流動物体のコーティングされた部分を、前記流動物体が流動する条件にさらすステップと、を有し、その結果得られた流動物体がマイクロレンズを形成することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。

IPC (4件)：

G02B 3/00 ,  B29C 39/10 ,  B29K 83:00 ,  B29L 11:00

FI (5件)：

G02B 3/00 Z ,  G02B 3/00 A ,  B29C 39/10 ,  B29K 83:00 ,  B29L 11:00

Fターム (14件)：

4F204AA44 ,  4F204AD02 ,  4F204AD03 ,  4F204AD04 ,  4F204AH74 ,  4F204AH75 ,  4F204EA03 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EF01 ,  4F204EF05 ,  4F204EF27 ,  4F204EK07 ,  4F204EK18

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 固体撮像装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-124622   出願人：松下電子工業株式会社
• 特開昭60-195934
  
• 特開昭60-195934
  
• 特開昭60-195934