特許
J-GLOBAL ID：200903033337769005

エキシマランプ

発明者：
藤澤 繁樹

藤澤 繁樹 について

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森本 幸裕

森本 幸裕 について

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菱沼 宣是

菱沼 宣是 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-071076
公開番号（公開出願番号）：特開2009-230867
出願日： 2008年03月19日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】 放電空間内においてエキシマ放電を発生させて真空紫外光を放射するエキシマランプにおいて、放電容器の一部を溶融石英ガラスによって構成されたエキシマランプを提供すること。【解決手段】 内側管4と外側管3とが同軸方向に配置された二重管構造の石英ガラスよりなる放電容器2と、当該放電容器2を形成する石英ガラスが介在する状態で一対の電極5、6が設けられてなり、放電空間S内にキセノンガスが封入されてなり、放電容器2の放電空間S内においてエキシマ放電を発生させるエキシマランプ1において、内側管4は溶融石英ガラスにより形成され、外側管3は合成石英ガラスにより形成されていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
内側管と外側管とが同軸方向に配置された二重管構造の石英ガラスよりなる放電容器と、当該放電容器を形成する石英ガラスが介在する状態で一対の電極が設けられてなり、放電空間内にキセノンガスが封入されてなり、前記放電容器の放電空間内においてエキシマ放電を発生させるエキシマランプにおいて、 前記内側管は溶融石英ガラスにより形成され、前記外側管は合成石英ガラスにより形成されていることを特徴とするエキシマランプ。
IPC (3件)：
H01J 65/00 ,  H01J 61/35 ,  H01J 61/30
FI (3件)：
H01J65/00 B ,  H01J61/35 F ,  H01J61/30 N
Fターム (7件)：
5C043AA14 ,  5C043BB01 ,  5C043CC16 ,  5C043DD31 ,  5C043EA14 ,  5C043EB16 ,  5C043EC03
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 放電ランプ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-168475   出願人：ウシオ電機株式会社
審査官引用 (4件)
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