特許

J-GLOBAL ID：200903080856881945

エキシマランプ及びこの放電用容器

発明者： 江崎 真伍 ,  吉川 智也 ,  畑瀬 和也 ,  細谷 浩二 ,  坂元 弘実
出願人/特許権者： 日本電池株式会社
代理人 (1件)： 河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-289941
公開番号（公開出願番号）：特開2004-127710
出願日： 2002年10月02日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】エキシマランプの放電容器1の最長端部の前後端壁板1b,1b等を真空紫外線が透過し難くすることにより劣化を防止するエキシマランプ及びこの放電用容器を提供する。【解決手段】前後に最長であり上下が最短になると共に、この上下で向かい合うほぼ平坦な上下壁板が互いにほぼ平行な形状を有し、真空紫外線を透過する合成石英ガラスにより構成された密閉容器であって、内部にエキシマ発光のための放電用ガスを封入した放電容器1と、この放電容器1の上下壁板の外面にそれぞれ形成された電極2,3とを備え、この下壁板を通して真空紫外線を下方に照射するエキシマランプにおいて、この放電容器1における少なくとも前後両端部の前後端壁板1b,1bの内面に真空紫外線保護層4が形成された構成とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

前後に最長であり上下が最短になると共に、この上下で向かい合うほぼ平坦な上下壁板が互いにほぼ平行な形状を有し、真空紫外線を透過する誘電体により構成された密閉容器であって、内部にエキシマ発光のための放電用ガスを封入した放電容器と、この放電容器の上下壁板の外面にそれぞれ形成された電極とを備え、この下壁板を通して真空紫外線を下方に照射するエキシマランプにおいて、 この放電容器における少なくとも前後両端部の前後端壁板の内面に真空紫外線保護層が形成されたことを特徴とするエキシマランプ。

IPC (2件)：

H01J65/00 ,  H01J61/30

FI (2件)：

H01J65/00 B ,  H01J61/30 T

Fターム (8件)：

5C043AA07 ,  5C043BB01 ,  5C043CC19 ,  5C043CD08 ,  5C043DD31 ,  5C043DD36 ,  5C043EA14 ,  5C043EA16

引用特許：

審査官引用 (1件)

• エキシマランプ、エキシマ照射装置および有機化合物の分解方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-059197   出願人：クォークシステムズ株式会社, 株式会社渡邊商行