2次電子検出器及びこれを用いた電子ビーム装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-034675
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233060
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】電子ビーム装置用2次電子検出器を小型化する。【解決手段】円孔41aが形成されたリング状基板41上には、リング状絶縁層42A及びリング状高抵抗層43Aを介してリング状2次電子増倍層44Aが形成され、円孔41aより小さい円孔33aが形成されたリング状基板33上には、リング状絶縁層42B及びリング状高抵抗層43Bを介してリング状2次電子増倍層44Bが形成されている。2次電子増倍層44Bの外側には、絶縁層42Aと42Bとの間にリングを4分割した形の増倍電子収集電極461が接合されている。2次電子増倍層44A及び44Bの替わりに、対向する基板間に多孔性2次電子増倍物質を装填してもよい。電極461の替わりに、表面に蛍光体が被着された光ファイバを用いてもよい。

請求項（抜粋）：

第1孔が形成された第1基板と、該第1基板と対向して配置され、該第1孔と略同心の第2孔が形成された第2基板と、該第1孔と該第2孔との間の空間の周囲かつ該第1基板と該第2基板との間に配置され、該空間から入射した電子に応答して2次電子を放出することにより電子数を増倍する電子増倍部と、該電子増倍部の内側端部と外側端部との間に電圧が印加されて該電子増倍部の内側から外側へ電位勾配を生成する電位勾配生成電極と、該電子増倍部の外側周囲に該電子増倍部と離間して配置された増倍電子収集電極と、を有することを特徴とする2次電子検出器。

引用特許：

審査官引用 (7件)

電子光学鏡筒および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-258547 出願人：株式会社東芝
特開平3-102756
電子増倍管
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-102902 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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