欠陥評価装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-266466
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108847
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】欠陥評価装置において、被検物体の欠陥や異物を分離することができ、かつ、欠陥の形状の情報を得ることができるようにする。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明では、被検物体にレーザ光を斜めに照射するレーザ照射手段と、被検物体内部または表面からの散乱光を観察する観察手段とを有する欠陥評価装置において、レーザ照射手段は、被検物体に対して観察光学軸の周りの複数の入射方向からレーザ光を照射し、観察手段は、被検物体からの散乱光を受光して、被検物体内部または表面の欠陥等の形状情報を得る。

請求項（抜粋）：

被検物体にレーザ光を斜めに照射するレーザ照射手段と、該被検物体内部または表面からの散乱光を観察する観察手段とを有する欠陥評価装置において、該レーザ照射手段は、該被検物体に対して観察光学軸の周りの複数の入射方向からレーザ光を照射し、該観察手段は、該被検物体からの散乱光を受光して、該被検物体内部または表面の欠陥等の形状情報を得ることを特徴とする欠陥評価装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-223650
特開昭63-124942
特開昭62-070738

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