特許
J-GLOBAL ID:200903033379372300
種結晶固定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-271711
公開番号(公開出願番号):特開2008-088024
出願日: 2006年10月03日
公開日(公表日): 2008年04月17日
要約:
【課題】種結晶配置部に対して種結晶表面を均等に圧着する種結晶固定装置を提供する。【解決手段】反応容器の種結晶配置部3に接着剤5を介して種結晶9を固定するための種結晶固定装置1であって、種結晶配置部3を内部に配置可能なチャンバ10と、チャンバ10上面に配置され、気体の給排気により膨張収縮し、膨張した際に種結晶9の表面に接して種結晶9の全面に均一に圧力を掛ける加撓性袋体16とを備え、チャンバ10上面が、種結晶配置部3に向かって凸形状に形成されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
種結晶配置部に接着剤を介して種結晶を固定するための種結晶固定装置であって、
前記種結晶配置部を内部に配置可能なチャンバと、
前記チャンバ上面に配置され、気体の給排気により膨張収縮し、膨張した際に前記種結晶の表面に接して種結晶の全面に均一に圧力を掛ける加撓性袋体とを備え、
前記チャンバ上面は前記種結晶配置部に向かって凸形状に形成されていること
を特徴とする種結晶固定装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
4G077AA02
, 4G077BE08
, 4G077DA02
, 4G077DA18
, 4G077EG11
, 4G077HA02
, 4G077HA06
, 4G077HA12
, 4G077PH01
, 4G077SA01
, 4G077SA12
引用特許:
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