特許

J-GLOBAL ID：200903033389483819

ウェーハ保持機、および荷電粒子線装置

発明者： 富田 将司 ,  首藤 亨
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (2件)： 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-147628
公開番号（公開出願番号）：特開2008-300756
出願日： 2007年06月04日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：

【課題】ウェーハの表面に絶縁膜があっても、ウェーハの電位を所望の電位に設定可能なウェーハ保持機を提供する。【解決手段】ウェーハ12が載せられるウェーハ台33と、ウェーハ12をウェーハ台33上に係止する可動ピン24と、鋭利な凸部を有する擦動面29Sを有し、擦動面29Sを介してウェーハ12に電気的に接続する接触端子29と、ウェーハ12の係止中に、擦動面29Sをウェーハ12の外周側面に圧接させたまま擦動させる駆動部25とを有する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ウェーハが載せられるウェーハ台と、 前記ウェーハを前記ウェーハ台上に係止する係止部と、 鋭利な凸部を有する擦動面を有し、前記擦動面を介して前記ウェーハに電気的に接続する接触端子と、 前記ウェーハの係止中に、前記擦動面を前記ウェーハの外周側面に圧接させたまま擦動させる駆動部とを有することを特徴とするウェーハ保持機。

IPC (4件)：

H01L 21/683 ,  H01L 21/66 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (5件)：

H01L21/68 N ,  H01L21/66 D ,  H01J37/20 H ,  H01J37/20 A ,  H01J37/28 B

Fターム (19件)：

4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA03 ,  4M106CA38 ,  4M106DJ02 ,  5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5F031CA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA30 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA31 ,  5F031MA33 ,  5F031PA21

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 試料帯電除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-343806   出願人：株式会社日立製作所