集束イオンビームの光軸調整方法および集束イオンビーム装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248238
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092356
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】集束イオンビーム装置のイオン源交換時等の軸合わせ作業を容易にする集束イオンビームの光軸合わせ方法および集束イオンビーム装置を提供する。【解決手段】イオンビームを発生するイオン源1および引き出し電極2からなるイオン源部3と、前記イオンビームのエネルギー密度の高い中央部分を通過させると共にその電流を測定するモニタリングアパーチャ5と、コンデンサーレンズ6、アパーチャ7および対物レンズ8を含む荷電粒子光学系9と、前記集束イオンビームを走査する偏向電極16とを有する集束イオンビーム装置の光軸を調整する方法であって、前記イオン源1を前記イオンビームの光軸に直交する方向に移動しながら前記モニタリングアパーチャ5で測定される電流および当該イオン源から発生する総イオンビーム量をモニタし、当該電流が一定になるように前記引き出し電極に印加する電圧を制御すると共に当該総イオンビーム量が極小になるように前記イオン源1の位置を調整する。

請求項（抜粋）：

イオンビームを発生するイオン源および引き出し電極からなるイオン源部と、前記イオンビームのエネルギー密度の高い中央部分を通過させると共に捕捉したイオンビームのビーム電流を測定するモニタリングアパーチャと、コンデンサーレンズ、アパーチャおよび対物レンズを含んで前記モニタリングアパーチャを通過したイオンビームを集束イオンビームとする荷電粒子光学系と、前記集束イオンビームを走査する偏向電極とを有する集束イオンビーム装置の光軸を調整する方法であって、前記イオン源を前記イオンビームの光軸に直交する方向に移動しながら前記モニタリングアパーチャで測定される電流および当該イオン源から発生する総イオンビーム量をモニタし、当該電流が一定になるように前記引き出し電極に印加する電圧を制御すると共に当該総イオンビーム量が極小になるように前記イオン源の位置を調整することを特徴とする集束イオンビームの光軸調整方法。

IPC (4件)：

H01J 37/04 , H01J 37/147 , H01J 37/317 , H01L 21/205

FI (5件)：

H01J 37/04 B , H01J 37/04 A , H01J 37/147 D , H01J 37/317 D , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平1-124945
荷電粒子線装置における荷電粒子源位置調整方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-061711 出願人：株式会社アドバンテスト
特開平3-289034

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