薬液供給システム及び薬液供給ポンプ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山田強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-140705
公開番号（公開出願番号）：特開2006-316711
出願日： 2005年05月13日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：

【課題】薬液の吸引又は吐出の流量を高精度に制御し、しかも発熱による弊害等を排除することができる薬液供給システムを提供する。【解決手段】薬液供給ポンプ10のポンプハウジング11内には容積可変部材としてのベローズ式仕切部材12が収容されており、このベローズ式仕切部材12によってポンプ室13と圧力作用室14とが区画形成されている。圧力作用室14には電空レギュレータ28が接続されている。ベローズ式仕切部材12にはロッド33が連結され、そのロッド33の移動量が位置検出器36により検出される。コントローラ40は、薬液の吸引又は吐出時においてベローズの目標作動量を設定するとともに、該目標作動量と位置検出器36による検出結果から求めた実際の作動量との偏差に基づいて電空レギュレータ28を制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

薬液を充填するためのポンプ室と、容積可変部材により前記ポンプ室から仕切られてなる圧力作用室とを有し、その圧力作用室内の気体圧力に応じて前記容積可変部材を作動させ、その作動に伴う前記ポンプ室の容積変化に基づいて前記薬液を吸引又は吐出する薬液供給ポンプと、前記圧力作用室に供給される気体の圧力を調整する圧力調整手段と、前記容積可変部材の作動量を検出する作動量検出手段と、前記薬液供給ポンプによる薬液の吸引又は吐出時において前記容積可変部材の目標作動量を設定するとともに、該目標作動量と前記作動量検出手段による検出結果から求めた実際の作動量との偏差に基づいて前記圧力調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする薬液供給システム。

IPC (3件)：

F04B 43/06 , B05C 11/10 , H01L 21/027

FI (3件)：

F04B43/06 A , B05C11/10 , H01L21/30 564Z

Fターム (18件)：

3H077AA08 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD09 , 3H077DD15 , 3H077FF46 , 4F042AA07 , 4F042BA02 , 4F042BA06 , 4F042BA11 , 4F042CB02 , 4F042CB03 , 4F042CB08 , 4F042CB10 , 4F042DH09 , 5F046JA01 , 5F046JA03 , 5F046JA27

引用特許：

出願人引用 (1件)

ベローズポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-213474 出願人：株式会社コガネイ

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