特許

J-GLOBAL ID：200903033442947261

表面観察装置

発明者： 青木 進
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-088519
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283909
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】STMにおいて、試料の広い範囲の凹凸像を得る。【解決手段】試料2の広い範囲の凹凸像を観察する場合、探針1の先端と試料2の表面との距離は、探針1と試料2との間にフィールドエミッション電流が流れる距離となされる。試料2は走査機構6によって2次元走査される。その走査中、位置検出装置7は、現在探針1が走査範囲のどの位置にあるかを検出して制御装置10に渡す。電流検出装置8は試料2に流れるフィールドエミッション電流を検出し、制御装置10はそれを取り込む。制御装置10は、位置検出装置7からの位置データと、電流検出装置8で検出されたフィールドエミッション電流とに基づいて走査範囲の試料表面の凹凸像を形成して表示装置11に表示すると共に、位置データに基づいて、現在の探針1の走査位置を示す画像を形成して表示装置11に表示する。この二つの画像を観察することによって、オペレータは詳細に観察したい箇所を容易に探すことができる。

請求項（抜粋）：

試料を2次元走査する走査機構と、試料を2次元走査しているときに、探針が当該走査範囲のどの位置にあるかを検出する位置検出装置と、試料を2次元走査しているときに試料に流れるフィールドエミッション電流あるいはトンネル電流を検出する電流検出装置と、位置検出装置で検出された位置データと、電流検出装置で検出されたフィールドエミッション電流あるいはトンネル電流とに基づいて走査範囲の試料表面の凹凸像を形成して表示装置に表示する制御装置とを備えることを特徴とする表面観察装置。

IPC (2件)：

G01N 13/12 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 B ,  G01B 21/30 Z

Fターム (23件)：

2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069DD24 ,  2F069DD25 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG15 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG62 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ19 ,  2F069JJ26 ,  2F069LL03 ,  2F069MM11 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05 ,  2F069QQ10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 走査型プローブ顕微鏡及びそれによる像測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-123126   出願人：キヤノン株式会社