基板検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-255163
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094753
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、被検査基板に対し精度の高いマクロ観察を行うことができる基板検査装置を提供する。【解決手段】ホルダ2の前側支点受け部13を支点部15に支持するとともに、ガイド付ボールネジ4によりホルダ2を下方向に位置させホルダ2を水平に保持した状態から、液晶フィルタ21の透明動作で、メタルハライドランプ17からの光をフレネルレンズ20を介して収束光としてホルダ2上の被検査基板面に照射し、また、液晶フィルタ21の不透明動作で、ナトリウムランプ18からの光を散乱して面光源としてホルダ2上の被検査基板面に照射する。

請求項（抜粋）：

被検査基板面に照明光を照射し、その反射光の光学的変化から基板表面の欠陥を観察するマクロ観察を可能にした基板検査装置において、前記被検査基板面に対応して設けられる点光源および特定波長の光を出射する線光源と、光の透明状態と散乱状態を切り替え可能にし、透明状態で前記点光源からの光を透過するとともに、不透明状態で前記線光源からの光を散乱させる光学的フィルタ手段と、前記点光源からの光を収束する光学系とを具備し、前記光学的フィルタ手段の切り替えにより前記線光源による散乱光または前記点光源による収束光を前記被検査基板面に照射可能にしたことを特徴とする基板検査装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

外観検査用投光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-031922 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-315948
特開平3-230544

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