特許
J-GLOBAL ID：200903033472650590
昇華物対策付き熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
景山 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317119
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141868
出願日： 1996年11月12日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【目的】 簡単な装置で昇華物の発生自体を防止する。【構成】 クリーンオーブンは、空調部22に配設された加熱器と循環送風機とによって内槽2内に配設され昇降するゴンドラに多数枚積載されたLCDパネル等のワークに熱風を循環供給する装置であり、昇華物対策部分として、吸気口81b、ヒータ84、加熱空気導入口83b等を備えた外気吸入加熱装置8、配管や排気ファン93等を備えた排気装置9を有する。【効果】 加熱空気を空調部22の加熱器の上流位置に導入し、排気ファン93でワークを通過した空気を排出することにより、換気によってワークから発生する昇華物ガスを排出し、内部の昇華物ガス濃度を低下させ、昇華物の結晶成長を阻止し、微粒子の状態で排出して内部等における昇華物の付着・堆積を防止することができる。
請求項（抜粋）：
被処理物を通過するように加熱器で加熱した空気を循環させて前記被処理物を熱処理する熱処理装置において、外気を加熱して前記被処理物を通過する空気の上流側位置に導入する加熱空気導入手段と、前記被処理物を通過した空気の一部分を排出する空気排出手段と、を有することを特徴とする熱処理装置。
引用特許：
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