特許
J-GLOBAL ID：200903033475970196

光情報記録用Al合金反射膜、光情報記録媒体および光情報記録用Al合金反射膜の形成用のAl合金スパッタリングターゲット

発明者：
田内 裕基

田内 裕基 について

, 
中井 淳一

中井 淳一 について

, 
高木 勝寿

高木 勝寿 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (3件)： 梶 良之 ,  須原 誠 ,  竹中 芳通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-269836
公開番号（公開出願番号）：特開2009-087527
出願日： 2008年10月20日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：
【課題】低熱伝導率、低溶融温度、高耐食性を有して、レーザーマーキングに対応可能な光情報記録用Al合金反射膜、この反射膜を備えた光情報記録媒体、及び、この反射膜の形成用のスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】(1) 光情報記録媒体用Al合金反射膜であって、Alを主成分とし、希土類元素の少なくとも1種を1.0 〜10.0原子%含有し、更にCr,Ta,Ti,Mo,V,W,Zr,Hf,Nb,Niの少なくとも1種を0.5 〜5.0原子%含有することを特徴とする光情報記録用Al合金反射膜、(2) 前記Al合金反射膜においてFe,Coの少なくとも1種を1.0 〜5.0 原子%含有するものや、In,Zn,Ge,Cu,Liの少なくとも1種を1.0 〜10.0原子%含有するもの、(3) 前記Al合金反射膜を有していることを特徴とする光情報記録媒体、(4) 前記Al合金反射膜と同様の組成を有するAl合金よりなるスパッタリングターゲット等。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光情報記録媒体に用いられるAl合金反射膜であって、Alを主成分とし、希土類元素の少なくとも1種を1.0 〜10.0原子%含有し、更にCr,Ta,Ti,Mo,V,W,Zr,Hf,Nb,Niの少なくとも1種を0.5 〜5.0原子%含有することを特徴とする光情報記録用Al合金反射膜。
IPC (4件)：
G11B 7/258 ,  G11B 7/26 ,  C23C 14/34 ,  C22C 21/00
FI (5件)：
G11B7/24 538E ,  G11B7/24 538H ,  G11B7/26 531 ,  C23C14/34 A ,  C22C21/00 N
Fターム (18件)：
4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA23 ,  4K029BC01 ,  4K029BC07 ,  4K029BC10 ,  4K029BD09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  5D029MA13 ,  5D029MA19 ,  5D029MA50 ,  5D121AA05 ,  5D121EE03 ,  5D121EE13 ,  5D121JJ05
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開平4-177639号公報
  • 光磁気記録媒体
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-186821   出願人：株式会社リコー
  • Al合金薄膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-152021   出願人：株式会社神戸製鋼所
審査官引用 (4件)
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