特許
J-GLOBAL ID：200903033539714016
電子線描画装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-354137
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182561
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】種々の大きさの試料に対し電子線描画を行う電子線描画装置において、試料の搬入から電子線描画、或いは試料搬出に至るまでの一連の作業を自動的に行うのに好適な電子線描画装置を提供する。【解決手段】描画される試料を配置するための真空試料室と、試料を支持すると共に、試料を支持した状態で試料室に至るまでの試料の移動軌道の少なくとも1部において試料を搬送する搬送アームと、搬送アームの搬送軌道中に試料の側方から光を照射し試料の厚さを検出する試料厚さ検出器を備えた。
請求項（抜粋）：
電子源と、該電子源から放出される電子線を収束する電子レンズと、該電子レンズで収束した電子線を試料に照射して該試料上にパターンを描画する電子線描画装置において、前記描画される試料を配置するための真空試料室と、前記試料を支持すると共に、試料を支持した状態で前記試料室に至るまでの試料の移動軌道の少なくとも1部において前記試料を搬送する搬送アームと、該搬送アームの前記搬送軌道中に前記試料の側方から光を照射し前記試料の厚さを検出する試料厚さ検出器を備えたことを特徴とする電子線描画装置。
IPC (5件)：
H01J 37/305
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04
, H01J 37/20
, H01L 21/027
H01J 37/305 B
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04 E
, H01J 37/20 B
, H01L 21/30 541 L
2H097AA03
, 2H097BA01
, 2H097BA06
, 2H097CA16
, 2H097DA06
, 2H097LA10
, 5C001AA01
, 5C001AA03
, 5C001CC06
, 5C034BB02
, 5C034BB05
, 5C034BB07
, 5C034BB10
, 5F056AA01
, 5F056BA08
, 5F056BA10
