超純水の製造方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本多小平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265808
公開番号（公開出願番号）：特開平8-126886
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】超純水製造装置の稼動を停止して定期的に、配管内,特に製造した超純水を1次純水タンクに戻す循環系配管内の殺菌処理を行なっていたことに代えて、装置を停止させることなく連続して殺菌処理が行なえるようにする。【構成】 1次純水処理系、1次純水タンク、1次純水から超純水を製造する2次純水処理系、製造された超純水を1次純水タンクに戻す循環系配管、この循環系から分岐されてユースポイントに超純水を送水する分岐送水系、を備えた超純水製造装置において、循環系の途中に、超純水を電気分解処理したアノード水を製造する電気分解装置をバイパスして設け、ユースポイントへの分岐部よりも下流側の循環系配管にこのアノード水を連続して流す。

請求項（抜粋）：

原水に含まれる懸濁物質を除去する前処理、次いでイオン及び非イオン性物質を除去するl次純水処理を行った後、イオン交換手段及び膜処理手段による2次純水処理を行って超純水を製造する方法において、上記l次純水処理された1次純水あるいは2次純水処理中の処理水に対して系内洗浄用電解水製造のために電気分解を行うことを特徴とする超純水の製造方法。

IPC (5件)：

C02F 1/46 , C02F 9/00 502 , C02F 9/00 , C02F 9/00 503 , C02F 9/00 504

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-236593
特開昭64-075092
特開平2-261594

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