コンタクトプローブの針先認識方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051885
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249745
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】コンタクトプローブの針先認識方法において、誤認識をせずに正確に針先位置を認識すること。【解決手段】複数のパターン配線がフィルムの表面上に形成されこれらのパターン配線の各先端がフィルムの先端部から突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタクトプローブの針先を認識する方法であって、被検査対象の電極パッドに対して傾斜状態に支持されたコンタクトピンの先端部分に照明光を照射し、該照明光の反射光を固体撮像素子で受光してコンタクトピンの画像を二値化画像とし、二値化画像で得られたコンタクトピンの輪郭3cに基づいてコンタクトピンの最先端位置Fを検出し、該最先端位置から予め設定しておいた所定距離lだけ後退させた位置を電極パッドに接触させる針先位置Pとして認識する。

請求項（抜粋）：

複数のパターン配線がフィルムの表面上に形成されこれらのパターン配線の各先端がフィルムの先端部から突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタクトプローブの針先を認識する方法であって、被検査対象の電極パッドに対して傾斜状態に支持された前記コンタクトピンの先端部分に照明光を照射し、該照明光の反射光を固体撮像素子で受光して前記コンタクトピンの画像を二値化画像とし、該二値化画像で得られた前記コンタクトピンの輪郭に基づいて前記コンタクトピンの最先端位置を検出し、該最先端位置から予め設定しておいた所定距離だけ後退させた位置を前記電極パッドに接触させる針先位置として認識することを特徴とするコンタクトプローブの針先認識方法。

IPC (6件)：

G01R 31/28 , G01B 11/00 , G01B 11/24 , G01R 1/06 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01R 31/28 K , G01B 11/00 H , G01R 1/06 E , H01L 21/66 B , G01B 11/24 K , G06F 15/62 405 B

Fターム (56件)：

2F065AA03 , 2F065AA11 , 2F065AA12 , 2F065AA22 , 2F065AA51 , 2F065BB05 , 2F065BB12 , 2F065CC00 , 2F065FF42 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065QQ04 , 2F065QQ21 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065QQ35 , 2F065QQ36 , 2F065QQ40 , 2G011AA02 , 2G011AA12 , 2G011AA15 , 2G011AB08 , 2G011AC03 , 2G011AC06 , 2G011AC10 , 2G011AC14 , 2G011AC21 , 2G011AC31 , 2G032AA01 , 2G032AB01 , 2G032AF03 , 2G032AF04 , 2G032AL03 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106BA14 , 4M106CA70 , 4M106DD04 , 4M106DD05 , 4M106DD30 , 4M106DJ11 , 4M106DJ19 , 4M106DJ20 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA08 , 5B057CB06 , 5B057CC03 , 5B057DA07 , 5B057DA08 , 5B057DC16

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭62-191743
プローブ装置のアライメント方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-152854 出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (2件)

特開昭62-191743
プローブ装置のアライメント方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-152854 出願人：東京エレクトロン株式会社

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