特許

J-GLOBAL ID：200903033614485940

冷陰極型フラットパネルディスプレイ

発明者： 佐川 雅一 ,  楠 敏明 ,  鈴木 睦三
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小野寺 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-320785
公開番号（公開出願番号）：特開2008-078161
出願日： 2007年12月12日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】画素欠陥の発生を低減して信頼性を向上する。【解決手段】薄膜型電子源アレイの上部電極13への給電線となる上部電極給電配線の下に、第二層間絶縁層15を形成して短絡不良を防止する。さらに、電子放出部を第二層間絶縁膜15で制限することにより、電子加速層(トンネル絶縁膜12)と第一層間絶縁層14の境界に偏在する欠陥を被覆して、経時的な絶縁破壊不良を抑止する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

下部電極および上部電極と、前記下部電極および上部電極の間に挟持された電子加速層を有し、 前記下部電極と前記上部電極の間に電圧を印加することで前記上部電極側より電子を放出する薄膜型電子源をアレイ状に配列した第1基板と、 前記第1基板側から放出される電子で励起される複数の蛍光体を配列した蛍光面を有する第2基板と、 を具備した冷陰極型フラットパネルディスプレイであって、 前記薄膜型電子源のアレイは、第一層間絶縁層と前記上部電極への給電線となる上部電極給電配線を有すると共に、 前記第一層間絶縁層と前記上部電極給電配線との間に第二層間絶縁層を備え、 電子を放出する領域以外の配線交差部では、厚い酸化膜からなる前記第一層間絶縁膜と前記第二層間絶縁膜が共存することを特徴とする冷陰極型フラットパネルディスプレイ。

IPC (3件)：

H01J 31/12 ,  H01J 1/312 ,  H01J 9/02

FI (3件)：

H01J31/12 C ,  H01J1/30 M ,  H01J9/02 M

Fターム (14件)：

5C036EE04 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EG12 ,  5C036EH01 ,  5C036EH11 ,  5C036EH21 ,  5C127CC17 ,  5C127CC18 ,  5C127EE12 ,  5C135CC06 ,  5C135CC08 ,  5C135CC09 ,  5C135HH12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• MIM構造素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-213744   出願人：株式会社日立製作所
• 磁性流体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-309868   出願人：エヌオーケー株式会社