特許
J-GLOBAL ID：200903033626855394
フッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-367610
公開番号（公開出願番号）：特開2003-171197
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月17日
要約：
【要約】【課題】 高エネルギー光を照射した場合でも、高い耐久性を有する紫外及び真空紫外領域用光学部材を提供する。【解決手段】 フッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶のドープ元素として、Li<SP>+</SP>のサイトにBe<SP>2+</SP>、Mg<SP>2+</SP>のいずれか一方、あるいは同時に両方を0.05mol%<BeF<SB>2</SB>+MgF<SB>2</SB><2.0mol%だけ導入した式Li<SB>1-x-y</SB>Be<SB>x</SB>Mg<SB>y</SB>CaAlF<SB>6+x+y</SB> (0.0005<x+y<0.020)で表されるフッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶を紫外および真空紫外での光学部材として提供する。
請求項（抜粋）：
フッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶のドープ元素として、Li<SP>+</SP>のサイトにBe<SP>2+</SP>、Mg<SP>2+</SP>のいずれか一方、あるいは同時に両方を0.05mol%<BeF<SB>2</SB>+MgF<SB>2</SB><2.0mol%だけ導入した式Li<SB>1-x-y</SB>Be<SB>x</SB>Mg<SB>y</SB>CaAlF<SB>6+x+y</SB> (0.0005<x+y<0.020)で表されるフッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
4G077AA02
, 4G077BE02
, 4G077EB01
, 4G077HA01
