セラミックスと金属との構造体及びそれを用いた静電チャック装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332157
公開番号（公開出願番号）：特開平11-157953
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】【課題】強度、耐久性に優れた金属とセラミックスとの構造体及びこの構造体を用い、熱伝達効率が高く、強度、耐久性に優れた静電チャック装置を提供する。【解決手段】セラミックスが、マグネシアセラミックスを含み、これと金属とを直接またはその熱膨張係数に応じて両者の複合材を介して接合することにより、構造体の強度、耐久性を向上することができる。また、これを用いることで、熱伝達効率が高く、強度、耐久性に優れた静電チャック装置を作製することができる。

請求項（抜粋）：

セラミックスと金属との構造体であって、前記セラミックスが、マグネシアセラミックスを含み、前記金属が、前記マグネシアセラミックスと同程度の熱膨張係数を有し、前記マグネシアセラミックスと前記金属とが直接接合されていることを特徴とするセラミックスと金属との構造体。

IPC (3件)：

C04B 37/02 , B23Q 3/15 , H01L 21/68

FI (3件)：

C04B 37/02 B , B23Q 3/15 D , H01L 21/68 R

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開昭55-104979
特開昭55-104979
特開昭60-108379

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