シンチレータパネル及び放射線イメージセンサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-105204
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356679
出願日： 2000年04月06日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】光出力を増大させたシンチレータパネル及び光出力を増大させたシンチレータパネルを用いた放射線イメージセンサを提供することである。【解決手段】シンチレータパネル1のa-C製の基板10の一方の表面には、光反射膜としてのAg膜12が形成されている。このAg膜12の表面の全体は、Ag膜12を保護するためのSiN膜14により覆われている。このSiN膜14の表面には、入射した放射線を可視光に変換する柱状構造のシンチレータ16が形成されている。このシンチレータ16は、基板10と共にポリパラキシリレン膜18で覆われている。

請求項（抜粋）：

放射線を透過する基板と、前記基板上に設けられた反射性金属薄膜と、前記反射性金属薄膜の全体を覆う保護膜と、前記保護膜上に堆積したシンチレータと、を備えることを特徴とするシンチレータパネル。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-269083
特開平1-191087
放射線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-224307 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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