基板検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-155270
公開番号（公開出願番号）：特開2003-347391
出願日： 2002年05月29日
公開日（公表日）： 2003年12月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】送信器及び受信器の光軸位置のばらつきを防止し、基板の検出精度の低下を抑制することができ、また、送信器及び受信器の取り付けに関し機構的な制約が少ない基板検出装置を提供する。【解決手段】蓋3bと連結されて蓋3bを開閉する遮蔽板8と、遮蔽板8を開口3cに対して前後に移動させる前後移動手段9と、遮蔽板8と前後移動手段9とを支持する遮蔽板支持手段10と、送信器と受信器とを有する基板検出部6と、遮蔽板支持手段10とは別に形成されて基板検出部6を支持する基板検出部支持手段7と、基板検出部支持手段7と遮蔽板支持手段10とを連結する連結手段11とを備え、連結手段11が基板収納容器3の高さ方向に下降するとともに、基板検出部支持手段7及び遮蔽板支持手段10も下降し、基板検出部6が各棚に収納された基板Wの有無を検出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板の収納及び取り出しを行うための開口と、この開口に着脱可能に取り付けられて開閉するための蓋と、前記基板を収納保持する複数の棚とを備える基板収納容器に対して、前記各棚に収納された基板の有無を検出する基板検出装置において、前記蓋と連結されて前記蓋を開閉する遮蔽板と、前記遮蔽板を前記開口に対して前後に移動させる前後移動手段と、前記遮蔽板と前記前後移動手段とを支持する遮蔽板支持手段と、送信器と受信器とを有する基板検出部と、前記遮蔽板支持手段とは別に形成され、前記基板検出部を支持する基板検出部支持手段と、前記基板検出部支持手段と前記遮蔽板支持手段とを連結する連結手段とを備え、前記連結手段が前記基板収納容器の高さ方向に下降するとともに、前記基板検出部支持手段及び前記遮蔽板支持手段も下降し、前記基板検出部が前記各棚に収納された基板の有無を検出することを特徴とする基板検出装置。

Fターム (13件)：

5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA14 , 5F031JA05 , 5F031JA13 , 5F031JA23 , 5F031JA36 , 5F031LA09 , 5F031LA12 , 5F031LA14 , 5F031LA15 , 5F031LA16 , 5F031NA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

ウェーハマッピング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-093381 出願人：ティーディーケイ株式会社, ローツェ株式会社

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