特許
J-GLOBAL ID：200903087897493032
ウェーハマッピング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外12名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-093381
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284439
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】ウェーハの他の処理工程と検出工程が輻輳せずに効率的にマッピングを行うとともに、エアー駆動で開閉動作を行っても棚段の信号を得ることができるウェーハマップング装置の提供。【解決手段】ウェーハ1を処理する処理装置において、蓋4を搬送する蓋搬送部と、該蓋搬送部が該蓋を搬送するときに該ウェーハが検出空間を横切る位置に配置される第一検出器9とを備えることを特徴とするマッピング装置により解決する。
請求項（抜粋）：
複数の段からなりその各段にウェーハが載置可能な棚を有する本体と該本体から分離可能な蓋とを備えるポッドから該蓋を分離するオープナと、該オープナに備えられ前記分離後に該蓋をほぼ垂直方向に搬送して該本体を開口させるアームとを備えて半導体処理装置に適用されるウェーハマッピング装置であって、前記アームと連動してほぼ垂直方向に移動し、該段上に置かれたウェーハの有無を検出可能な第1センサーと、複数の指標を有するセンサードグと、前記アームと連動してほぼ垂直方向に移動し、前記センサードグの指標を検出して検出信号を発する第2センサーとを有し、該センサードグは第2センサーが指標を検出したときに第1センサーが該棚の各段に置かれたウェーハが検出可能となるように半導体処理装置に固定され、アームによる該蓋の前記搬送の際に、第2センサーの該検出信号で同期をとって第1センサーによりポッドの棚の各段上のウェーハの有無を検知するウェーハマッピング装置。
FI (2件)：
H01L 21/68 L
, H01L 21/68 T
5F031CA02
, 5F031CA20
, 5F031DA01
, 5F031DA08
, 5F031DA17
, 5F031EA11
, 5F031EA20
, 5F031JA05
, 5F031JA22
, 5F031JA49
, 5F031JA51
