特許

J-GLOBAL ID：200903033678225755

圧電ウエハのエッチング加工方法および圧電デバイス

発明者： 村上 資郎 ,  小峰 賢二
出願人/特許権者： エプソントヨコム株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-320454
公開番号（公開出願番号）：特開2007-129513
出願日： 2005年11月04日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：

【課題】圧電ウエハの表面に対して垂直なエッチング面を短時間で形成する圧電ウエハのエッチング加工方法を提供する。【解決手段】圧電ウエハのエッチング加工方法は、圧電ウエハの一方の面12および他方の面14に開口部16を有するマスク18を形成し、前記開口部16をエッチングして貫通溝を形成するものである。そして前記一方の面12に形成され前記開口部16に隣接する前記マスク18におけるZ’軸方向の端部を、前記他方の面14に形成され前記開口部16に隣接する前記マスク18におけるZ’軸方向の端部に対して、前記圧電ウエハの+Z’方向に前記圧電ウエハの板厚の50±10%ずらしている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧電ウエハの一方の面および他方の面に開口部を有するマスクを形成し、前記開口部をエッチングして貫通溝を形成する圧電ウエハのエッチング加工方法において、 前記一方の面に形成された前記マスクにおける前記開口部に隣接するZ’軸方向の端部を、前記他方の面に形成された前記マスクにおける前記開口部に隣接するZ’軸方向の端部に対して、前記圧電ウエハの+Z’方向に前記圧電ウエハの板厚の50±10%ずらした、 ことを特徴とする圧電ウエハのエッチング加工方法。

IPC (5件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09

FI (5件)：

H03H3/02 B ,  H03H9/19 B ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C

Fターム (7件)：

5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平4-11404号公報
  
• 特開平1-179513号公報
  

審査官引用 (3件)

• ATカット水晶の加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-254733   出願人：東洋通信機株式会社
• 特開平4-011404
  
• 特開平4-011404