特許
J-GLOBAL ID:200903033683671895

プラズマディスプレイパネルの透明電極形成方法及び透明電極形成装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤巻 正憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-341328
公開番号(公開出願番号):特開2005-108668
出願日: 2003年09月30日
公開日(公表日): 2005年04月21日
要約:
【課題】 表示画像に発光むらが発生しないプラズマディスプレイパネルの透明電極形成方法及び形成装置を提供する。 【解決手段】 透明導電性膜が形成された透明ガラス基板7をステージ上に載置し、1セル分の電極パターンに対応し、放電ギャップ部11に対応する部分が中央部に設けられた孔が形成されているマスク5を介して、透明ガラス基板7上に形成された透明導電性膜にレーザ光を照射する。これにより、レーザ光が照射された部分の透明導電性膜が除去され、透明基板上に1セル分の電極パターンが形成される。次に、ステージを移動させ同様の方法で1セル分の電極パターンを形成する。このとき、隣り合う電極パターンが切れてしまわないように、その端部を重ね合わせる。この工程を複数回繰り返して透明ガラス基板7上に透明電極10を形成する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
透明導電膜が形成されたパネルに向けてレーザ光を照射し、このレーザ光を前記透明導電膜に導く光学系に、前記透明導電膜に照射されるレーザ光の形状を規定するマスクを介在させ、前記マスクには、透明電極における1画素又は複数画素に対応する部分の形状の孔を形成しておき、前記レーザ光を前記透明導電膜に前記孔の形状で照射することにより透明導電膜における照射部分を前記孔の形状に局部的に除去し、前記パネルと前記マスクとを相対的に移動させることにより、前記透明導電膜における除去された部分をつなぎあわせて所定形状の透明電極を形成するプラズマディスプレイパネルの透明電極形成方法であって、前記マスクの孔形状は、前記プラズマディスプレイパネルの電気的特性に影響を与える箇所が前記レーザ光の各照射パターンのつなぎあわせ部に相当する位置ではない位置に設けられているものであることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの透明電極形成方法。
IPC (3件):
H01J9/02 ,  H01B13/00 ,  H01J11/02
FI (3件):
H01J9/02 F ,  H01B13/00 503D ,  H01J11/02 B
Fターム (8件):
5C027AA01 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GC06 ,  5C040GC19 ,  5G323CA04
引用特許:
出願人引用 (2件)

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