特許
J-GLOBAL ID:200903033690497043
耐熱性電極、耐熱性電極用ターゲット、耐熱性電極の製造方法、およびこれを用いた薄膜EL素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石井 陽一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-217310
公開番号(公開出願番号):特開2003-027160
出願日: 2001年07月17日
公開日(公表日): 2003年01月29日
要約:
【要約】【課題】 電気的、光学的な耐熱性の低さを、高価な貴金属を使用することなく解決し、低コストで電気抵抗が低く、垂直反射率の高い耐熱性電極、耐熱性電極用ターゲット、耐熱性電極の製造方法、およびこれを用いた薄膜EL素子を提供する。【解決手段】 AgとNiとを含有し、Niの含有量が0.07-20原子%である構成の耐熱性電極耐熱性電極、前記組成の焼結体である耐熱性電極用ターゲット、耐熱性電極の製造方法、およびこれを用いた薄膜EL素子とした。
請求項(抜粋):
AgとNiとを含有し、Niの含有量が0.07-20原子%である耐熱性電極。
IPC (10件):
C22C 5/06
, C22C 1/04
, C23C 14/14
, C23C 14/34
, C23C 14/58
, G09F 9/30 330
, H01L 21/285
, H01L 21/285 301
, H05B 33/10
, H05B 33/26
FI (10件):
C22C 5/06 Z
, C22C 1/04 E
, C23C 14/14 D
, C23C 14/34 A
, C23C 14/58 A
, G09F 9/30 330 Z
, H01L 21/285 S
, H01L 21/285 301 Z
, H05B 33/10
, H05B 33/26 Z
Fターム (54件):
3K007AB02
, 3K007AB03
, 3K007AB12
, 3K007AB14
, 3K007BA06
, 3K007CA01
, 3K007CB01
, 3K007CC01
, 3K007DA05
, 3K007DB02
, 3K007DC02
, 3K007EA02
, 3K007EC03
, 3K007FA01
, 4K018AA02
, 4K018BA01
, 4K018BA04
, 4K018BC12
, 4K018DA00
, 4K018KA32
, 4K018KA37
, 4K029AA07
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA22
, 4K029BC03
, 4K029BC10
, 4K029BD00
, 4K029BD02
, 4K029CA05
, 4K029DC04
, 4K029DC09
, 4K029GA01
, 4M104BB08
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104DD37
, 4M104DD40
, 4M104DD78
, 4M104GG04
, 4M104GG05
, 5C094AA04
, 5C094AA10
, 5C094AA33
, 5C094AA43
, 5C094BA27
, 5C094CA19
, 5C094DB04
, 5C094EA06
, 5C094ED11
, 5C094FB02
, 5C094FB12
, 5C094GB10
, 5C094JA01
引用特許:
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