特許
J-GLOBAL ID:200903033690497043

耐熱性電極、耐熱性電極用ターゲット、耐熱性電極の製造方法、およびこれを用いた薄膜EL素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石井 陽一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-217310
公開番号(公開出願番号):特開2003-027160
出願日: 2001年07月17日
公開日(公表日): 2003年01月29日
要約:
【要約】【課題】 電気的、光学的な耐熱性の低さを、高価な貴金属を使用することなく解決し、低コストで電気抵抗が低く、垂直反射率の高い耐熱性電極、耐熱性電極用ターゲット、耐熱性電極の製造方法、およびこれを用いた薄膜EL素子を提供する。【解決手段】 AgとNiとを含有し、Niの含有量が0.07-20原子%である構成の耐熱性電極耐熱性電極、前記組成の焼結体である耐熱性電極用ターゲット、耐熱性電極の製造方法、およびこれを用いた薄膜EL素子とした。
請求項(抜粋):
AgとNiとを含有し、Niの含有量が0.07-20原子%である耐熱性電極。
IPC (10件):
C22C 5/06 ,  C22C 1/04 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/58 ,  G09F 9/30 330 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/285 301 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26
FI (10件):
C22C 5/06 Z ,  C22C 1/04 E ,  C23C 14/14 D ,  C23C 14/34 A ,  C23C 14/58 A ,  G09F 9/30 330 Z ,  H01L 21/285 S ,  H01L 21/285 301 Z ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26 Z
Fターム (54件):
3K007AB02 ,  3K007AB03 ,  3K007AB12 ,  3K007AB14 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007CC01 ,  3K007DA05 ,  3K007DB02 ,  3K007DC02 ,  3K007EA02 ,  3K007EC03 ,  3K007FA01 ,  4K018AA02 ,  4K018BA01 ,  4K018BA04 ,  4K018BC12 ,  4K018DA00 ,  4K018KA32 ,  4K018KA37 ,  4K029AA07 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA22 ,  4K029BC03 ,  4K029BC10 ,  4K029BD00 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  4K029GA01 ,  4M104BB08 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104DD78 ,  4M104GG04 ,  4M104GG05 ,  5C094AA04 ,  5C094AA10 ,  5C094AA33 ,  5C094AA43 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094DB04 ,  5C094EA06 ,  5C094ED11 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10 ,  5C094JA01
引用特許:
審査官引用 (6件)
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