特許
J-GLOBAL ID：200903065697361901
電極基板
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174515
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004993
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】高い信頼性(耐久性)を有しエッチング性が良く、かつ、低コストで量産性に優れた、金属薄膜を有する電極基板を提供する。【解決手段】少なくとも基板上に光反射性電極を形成した反射電極基板であって、前記光反射性電極を、基板側から順次、窒化チタンからなる下引き層と、金属薄膜からなる光反射層と、酸化物からなる上側層とを積層した積層膜としたことを特徴とする反射電極基板。
請求項（抜粋）：
少なくとも基板上に光反射性電極を形成した反射電極基板であって、前記光反射性電極を、基板側から順次、窒化チタンからなる下引き層と、金属薄膜からなる光反射層と、酸化物からなる上側層とを積層した積層膜としたことを特徴とする反射電極基板。
IPC (4件)：
G02F 1/1335 520
, G09F 9/30 336
, H05B 33/26
, C22C 5/06
G02F 1/1335 520
, G09F 9/30 336
, H05B 33/26 Z
, C22C 5/06 Z
