特許
J-GLOBAL ID：200903033691182968

キャリアモニター及び工場レベルでのキャリア管理システムと統合されたスマート装填ポート

発明者：
マーティン レイモンド エス

マーティン レイモンド エス について


出願人/特許権者：
アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド

アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド について


代理人 (9件)： 中村 稔 ,  大塚 文昭 ,  熊倉 禎男 ,  宍戸 嘉一 ,  今城 俊夫 ,  小川 信夫 ,  村社 厚夫 ,  西島 孝喜 ,  箱田 篤
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-520273
公開番号（公開出願番号）：特表2004-517463
出願日： 2001年08月14日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
装填ポート上でウェーハキャリアの複数の性能特性をモニターすることのできるシステム及び工場レベルでキャリア操作を管理するためのシステムが開示さている。
請求項（抜粋）：
キャリアに関連する複数の各特性に関連する信号を発生するための複数のモニターシステム、及び 前記特性と関連するデータを記憶するためのデータベースから成る、 キャリア管理システム。
IPC (3件)：
H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68
FI (3件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/66 Z ,  H01L21/68 A
Fターム (26件)：
4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106CA10 ,  4M106CA29 ,  4M106CA36 ,  4M106CA48 ,  4M106CA59 ,  4M106CA70 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ40 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031JA08 ,  5F031JA09 ,  5F031JA32 ,  5F031JA40 ,  5F031JA45 ,  5F031JA46 ,  5F031JA49 ,  5F031JA51 ,  5F031KA03 ,  5F031KA20 ,  5F031NA10 ,  5F031PA02
引用特許：
審査官引用 (1件)
  • 加圧インタフェース装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-158474   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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